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MEMS传感器和智能传感器的发展
MEMS传感器和智能传感器是新型传感器的代表,具有集成化和智能化的特点。介绍了2种传感器的最新发展状况,包括测量精度、灵敏度、体积、转化机理、融合理论等方面。列举了2种传感器的应用实例,如仿生机器人、微纳卫星、计算机视觉系统等。分析了传感器发展的趋势,涉及精度、可靠性、微型化、微功耗、智能化、数字化等方面。